光電系統全套解決方案
專為檢測紫外光而設計 (λ=266 nm) 用于半導體檢查設備的硅 APD "S14124-20"
發布時間：
2024-06-24
來源：
濱松光子學株式會社
S14124-20 是一款對 266 nm 紫外光具有高靈敏度的硅 APD。
在半導體制造工藝中，由于電路圖案的工藝幾何形狀小型化，必須在晶圓上檢測到的缺陷變得越來越小。
為了提高檢測此類缺陷的精度，在光學半導體檢查設備中使用對紫外光具有高靈敏度的短波長光源和探測器。
濱松的新產品 S14124-20 對于 266 nm 波長的光提供 87% 的高量子效率，這是用作半導體檢查設備光源的 YAG 激光器的第四次諧波。
本產品可用作半導體檢查設備、激光加工設備和光罩缺陷檢查設備的探測器。
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